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什么是微机械玉林变器
作者:玉林变压器厂 日期:2018-08-10 人气:651
什么是微机械玉林变器
微机械玉林变器是最早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方来看,微机械玉林变器分为阻和电容两类。从敏感膜结构来看,有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。目前,阻微机械玉林变器的精度可达0.05%—O.01%,年稳定性达0.1%/FS,误差为0.0002%,耐可达几百兆铂,过电保护范围可达玉林变器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械玉林变器的主要发展方向有以下几个方面。
其一是将敏感元件与信号处理、校准、补偿电路及微控制器等进行单片集成,研制化的微视械玉林变器。其二是进一步提高灵敏度,实现低量程的微机械玉林变器。这种微玉林变器用于脉动风、流量和密封件泄漏量标识等领域。其三是提高工作,研制高低温微机械玉林变器。阻微机械玉林变器由于受Pn结耐温限制,只能用于120度以下的工作,然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的微机械玉林变器,例如磁量锅炉、管道、容器内的,井下和各种发动机腔体内的。目前对微机械玉林变器的研究主要包括合金薄膜溅射微机械玉林变器,光纤微机械玉林变器,电容微机械玉林变器等。
其四是开发谐振微机械玉林变器。谐振微机械玉林变器除了具有普通微机械玉林变器的优点外,还具有准信号输出,抗干扰能强,分辨率和测量精度高的优点。硅谐振微机械玉林变器的激励检测方有电磁激放电磁拾振、静电激励电容拾振、逆电激励电拾振、电热激励敏电阻拾振和光热激励/光信号拾振。其中,电热激励/敏电阻拾振的谐振微机械玉林变器价格低廉,与IC技术兼容,可将敏感元件与信号调理电路集成在一块芯片上,具有诱人的应用前景。这种玉林变器的交叉灵敏度较大,为此设计了一种具有补偿功能的复合谐振微机械玉林变器。谐振器由在同一硅片上制作的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器组成,微桥谐振器和微悬劈梁谐振器材料相同,厚度相等或相近,制作工艺完全相同,同时制作,因而两者对变化可以同步响应。通过数据融合技术,作为温敏元件的微悬臀粱谐振器的谐振频率实时补偿变化对微桥谐振器谐振频率的交叉灵敏度。经补偿的谐振微机械玉林变器的交叉灵敏度减小了两个数量级。光热激励光信号拾振的谐振微机械传惑器具有抗电磁干扰、等优点,是对电热激励敏电阻拾振的谐振微机械玉林变器的有益补充,但是需要复杂的光学系统.不易实现,成本较高。
其一是将敏感元件与信号处理、校准、补偿电路及微控制器等进行单片集成,研制化的微视械玉林变器。其二是进一步提高灵敏度,实现低量程的微机械玉林变器。这种微玉林变器用于脉动风、流量和密封件泄漏量标识等领域。其三是提高工作,研制高低温微机械玉林变器。阻微机械玉林变器由于受Pn结耐温限制,只能用于120度以下的工作,然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的微机械玉林变器,例如磁量锅炉、管道、容器内的,井下和各种发动机腔体内的。目前对微机械玉林变器的研究主要包括合金薄膜溅射微机械玉林变器,光纤微机械玉林变器,电容微机械玉林变器等。
其四是开发谐振微机械玉林变器。谐振微机械玉林变器除了具有普通微机械玉林变器的优点外,还具有准信号输出,抗干扰能强,分辨率和测量精度高的优点。硅谐振微机械玉林变器的激励检测方有电磁激放电磁拾振、静电激励电容拾振、逆电激励电拾振、电热激励敏电阻拾振和光热激励/光信号拾振。其中,电热激励/敏电阻拾振的谐振微机械玉林变器价格低廉,与IC技术兼容,可将敏感元件与信号调理电路集成在一块芯片上,具有诱人的应用前景。这种玉林变器的交叉灵敏度较大,为此设计了一种具有补偿功能的复合谐振微机械玉林变器。谐振器由在同一硅片上制作的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器组成,微桥谐振器和微悬劈梁谐振器材料相同,厚度相等或相近,制作工艺完全相同,同时制作,因而两者对变化可以同步响应。通过数据融合技术,作为温敏元件的微悬臀粱谐振器的谐振频率实时补偿变化对微桥谐振器谐振频率的交叉灵敏度。经补偿的谐振微机械玉林变器的交叉灵敏度减小了两个数量级。光热激励光信号拾振的谐振微机械传惑器具有抗电磁干扰、等优点,是对电热激励敏电阻拾振的谐振微机械玉林变器的有益补充,但是需要复杂的光学系统.不易实现,成本较高。
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